电子级氢氟酸的性状为无色透明液态 ，于水相对密度比为1. 15～1 . 18，沸点 112 . 2 ℃，有刺激性气味，能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ，生成各种盐类。电子级氢氟酸的腐蚀性极强 ，可以腐蚀硅酸盐和玻璃制品而生成气态的四氟化硅。电子级氢氟酸可溶且易溶于水、醇 ，难溶于其他有机溶剂。根据用途的不同，电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS等。
